Mikrometergenaue Forschung
![Ein Wissenschaftler betrachtet einen Siliziumwafer](https://www.hs-furtwangen.de/fileadmin/_processed_/6/4/csm_Institut_Mikrosysteme_Header_ea0770d211.jpg)
Erstellung von Mikrostrukturen auf einem Siliziumwafer
Seit vielen Jahren forscht das Institut für Mikrosystemtechnik (iMST) an neuen Mikrosystemen, zugehörigen Modellierungs- und Herstellungsverfahren sowie Methoden zur Charakterisierung. Das iMST ist eines der größten Forschungsinstitute der HFU, die Forschungsergebnisse werden auch international wahrgenommen.
Mikrosysteme werden heute millionenfach in Automobilen (Sensoren), in der Kommunikationstechnik (Mikrofone und Hochfrequenzbauelemente, Smart Phones, Mikrospiegel in Projektoren, Druckköpfe in Tintenstrahldruckern) und in der Medizintechnik (Retina-Implantate, Cochlea-Implantate) eingesetzt. Dazu werden Strukturen im Bereich von Mikrometern benötigt, die mittels mikrotechnischer Verfahren erzeugt werden und elektronische und nichtelektronische Funktionen auf kleinstem Raum in einem System vereinen.
Das hochmotivierte, multidisziplinäre Team forscht in zahlreichen Kooperationsprojekten mit Unternehmen, wissenschaftlichen Einrichtungen und Universitäten an anwendungsorientierten Fragestellungen der Mikrosystemtechnik.
Forschungsgebiete
Funktionale Beschichtungen
![Wassertropfen, die auf einem Objektträger liegen](https://www.hs-furtwangen.de/fileadmin/_processed_/9/2/csm_Water_Droplets_022f74cd9b.jpg)
Lotuseffekt auf hydrophober Oberfläche
Funktionale Oberflächen tragen dazu bei, Werkstoffe ohne Änderung der Volumeneigenschaften an ihre Umgebung anzupassen. Zum einen kann die Oberfläche hydrophop/oleophob oder hydrophil/oleophil eingestellt werden, aber auch die Interaktion in physiologischer Umgebung (Biokompatibilität) lässt sich durch dünne Beschichtungen mit Schichtdicken im Bereich Nanometer bis Mikrometer maßgeschneidert einstellen. Ein weiteres Anwendungsfeld ist die Barriere gegen Diffusion von Gasen oder Flüssigkeiten. Damit können mit dünnen Schichten auch mechanisch flexible Bauteile oder aktive Implantate gegen harsche Umgebungen geschützt werden. Insbesondere für den Fall, dass die zu schützende Elektronik Gleichspannungspotenziale aufweist, ist eine 100-prozentige schützende Wirkung gegen Korrosion unabdingbar. Die Miniaturisierung von Medizinprodukten verlangt auch zunehmend hochspannungsfeste und biokompatible Isolationsschichten mit kleiner Schichtdicke.
- Im Institut sind folgende Beschichtungen möglich:
- physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD)
- plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung (PECVD)
- (optional plasmaunterstützter) Atomlagenabscheidung ((PE)ALD)
- thermische Oxidation
- Elektroplating
- Spin coating
- Abscheidung von Parylen
Besonders die homogene, defektfreie Beschichtung von komplexen Geometrien ist ein Schwerpunkt der Forschung und Entwicklung im Institut. Neben den Beschichtungsmethoden bestehen auch umfangreiche Möglichkeiten zur Validierung der Homogenität, Defekt-Freiheit und Stabilität der abgeschiedenen Schichten nach Auslagerung in thermischer, chemischer und zyklischer mechanischer Belastung.
Mikro- und Nanostrukturierungsverfahren
![Grafik](https://www.hs-furtwangen.de/fileadmin/_processed_/3/2/csm_Gaustufen_162b9d097f.jpg)
Die Fähigkeit zur gezielten Herstellung von Strukturen im Größenbereich Mikrometer (1 µm = 10⁻⁶ m) bis hin zu Nanometer (1 nm = 10⁻⁹ m) gehört zur Kernkompetenz in der Mikrosystemtechnik und damit auch im iMST. Die Strukturierung erfolgt dabei meist in einem zweistufigen Prozess, bei dem die Strukturen zunächst mittels Photolithographie in einen photosensitiven Lack erzeugt werden und diese dann nachfolgend mittels Ätztechnik in die darunterliegende Dünnschicht übertragen werden („negative Strukturierung“) oder z.B. durch Elektroplating abgeformt werden („additive Strukturierung“). Kleinste Strukturen bis 0,6 µm (laterale Dimension) und Toleranzen von rund +10% können am iMST durch maskengebundene Photolithographie und Laserdirektschreiben erzeugt werden. Als Ätztechniken für den zweiten Strukturierungsschritt, bei dem die Photoresiststrukturen in die Dünnschicht übertragen werden, stehen verschiedene nasschemische Verfahren für hochselektives Ätzen sowie für höchste Anforderung bei der Strukturgüte Reaktives Ionenätzen (RIE) mit hoher Anisotropie zur Verfügung.
Ein besonderes Forschungsfeld am iMST ist die Herstellung von quasi 3D-Mikrostrukturen mittels der sogenannten „Grayscale-Technologie“, zu der am iMST drei unterschiedliche Verfahren untersucht werden. Hier können Strukturhöhen bzw. –tiefen von typisch bis zu 50 µm erzeugt werden.
Zur Nanostrukturierung von Silizium wird an der Erzeugung von selbstorganisierter Nanostrukturen durch elektrochemisches Anodisieren von Silizium geforscht (poröses Silizium). Durch gezielte Nanostrukturierung können dabei z.B. Multilayer mit genau eingestelltem Brechungsindex als optische Filterschichten im sichtbaren bis zum MIR (mittleres Infrarot) erzeugt werden. Diese porösen Schichten werden am iMST auch für verschiedene Sensorprinzipien genutzt.
Für die Direktstrukturierung von dünnen Folien (z.B. 50 µm dick) steht ein ns-Laser (Nd:YAG, Wellenlänge von 1064 nm) zur Verfügung, allerdings können damit nur Strukturen im Größenbereich oberhalb 20 µm hergestellt werden.
Entwicklung miniaturisierter Sensoren und Aktoren
![Grafik](https://www.hs-furtwangen.de/fileadmin/_processed_/4/d/csm_Surface_displacement_dba966c04e.jpg)
Miniaturisierte Sensoren und Aktoren sind Beispiele von Mikrosystemen und werden heute milliardenfach in PKW oder auch in Smart Phones eingesetzt. Am iMST ist eine langjährige Expertise in der Entwicklung mikromechanischer Sensoren und Aktoren (sogenannte MEMS-Sensoren und –Aktoren), vor allem auf Basis des Werkstoffes Silizium vorhanden. Hierzu gehören auch optische Systeme, die z.B. zur Fokussierung, in Laserscannern oder zur Filterung von Licht genutzt werden können, wozu jeweils aktorische Funktionen verwendet werden. In den letzten Jahren beschäftigt sich viele Forschungsprojekte am iMST mit flexiblen, auf Polymeren beruhenden Sensor-Aktor-Systemen. Der Anwendungsbereich liegt dabei meist in der Medizintechnik. Als Technologieplattform wird meist SOI (Silicon on insulator) genutzt.
Neben der beschriebenen Kompetenz im Bereich Mikro- und Nanostrukturierungstechnik werden zur zielgerichteten Entwicklung von Sensor- und Aktorsystemen sogenannte Finite-Elemente-Methoden verwendet, mit denen ganz unterschiedliche physikalische Fragestellungen und Systeme simuliert werden können. Durch den Einsatz dieser sogenannten „multiphysics-Simulation“ können mehrfach zu durchlaufende, aufwändige Testfahren weitgehend vermieden werden und Sensor- und Aktorprototypen anhand vorgegebener Anforderungen prototypisch gezielt realisiert werden.
Beispiele für in den letzten Jahren entwickelte Sensoren:
- MEMS-Neigungssensoren
- Schalldosimeter für den Hörschutz
- Refraktometer zur Bestimmung des Brechungsindex von Flüssigkeiten
- Sensoren zur insitu-Detektion von Brandmarken beim Schleifen
- Sensoren zur Charakterisierung von Gefäßeigenschaften
Beispiele für am iMST entwickelte Aktorik:
- aktive Fokussiersysteme
- taktile Displays
- Systeme für Laserscanner
- inchworm-Antriebe realisiert
- bistabile mikromechanische Schalter
Eine wichtige Fragestellung bei der Verwendung von Sensor-Aktor-Systeme ist die Energieversorgung. Am m iMST wird an Energy Harvesting, bei dem die Systeme ihre Energie aus der Umgebung beziehen, und an besonderen Formen elektrochemisch gespeicherter Energie geforscht. Auch telemetrische Energieversorgung wird untersucht.
Oberflächen- und Grenzflächenanalytik
![Bild eines Präparats](https://www.hs-furtwangen.de/fileadmin/_processed_/d/4/csm_TEM2_755fcf523c.jpg)
Querschnittspräparation einer Barriereschicht aus Aluminium/Titanoxid Nanolaminat
Die Oberflächen- und Grenzflächenanalytik im iMST beschäftigt sich mit der Untersuchung der Oberfläche und Schichtmorphologie einer Probe, also mit dem strukturellen Aufbau und dem Gefüge einer Schicht. Neben Rauheit und Stufenhöhe wird bei Bedarf auch eine chemische Analyse der Oberfläche und des oberflächennahen Bereiches erstellt. Dabei können Kontaminationen der Oberfläche, chemische Zusammensetzung des oberflächennahen Bereiches, oder beispielsweise auch die Benetzbarkeit als Folge einer Aktivierung der Oberflächen untersucht werden. Um die Schichteigenschaften des oberflächennahen Bereiches zu untersuchen werden in der Regel Querschnitts-Präparationen durchgeführt. Bei porösen Materialien kann damit zum Beispiel auch die Porengröße in die Tiefe hinein bestimmt werden. Die Querschnitts Präparationen kommt aber insbesondere auch bei Multilagen-Schichten (Nanolaminate) zum Einsatz.
Als verwendete Analysemethoden kommen unter anderem zum Einsatz:
- Lichtmikroskopie
- Rasterelektronenmikroskopie mit energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX)
- Transmissionselektronenmikroskopie mit EDX und Elektronenenergieverlustspektroskopie
- Rasterkraftmikroskopie
- Kontaktwinkelmessung
- Ellipsometrie
- Fourier-Transformations-Infrarotspektrometer
Insbesondere bei Schichten mit Strukturgrößen im Nanometer- oder Mikrometerbereich können mit diesen Analysemöglichkeiten grundlegende Fragestellungen und Validierungen von Schichteigenschaften durchgeführt werden. Das nachfolgende Bild zeigt eine Querschnittspräparation einer Barriereschicht bestehend aus einem Aluminiumoxid/Titanoxid Nanolaminat, welches mit Atomlagenabscheidung (ALD) hergestellt wurde. Das Bild wurde im Transmissionselektronenmikroskop aufgenommen.
Forschungsprojekte
Labore und Ausstattung
Die herausragende Ausstattung am Forschungszentrum Rottweil und im Technologielabor für Nano- und Mikrosysteme in Furtwangen werden am Institut für Mikrosystemtechnik genutzt.
Zentral werden im Forschungszentrum Rottweil innovative Plasma-Beschichtungstechnologien fokussiert. Im Technologielabor für Nano- und Mikrosysteme wird eine vollständig ausgebaute Siliziumtechnologie betrieben. Diese ermöglicht das Bearbeiten von Strukturen bis in den Nanometerbereich und die prototypische Realisierung von Mikro- und Nanosystemen.
Neues aus der Forschung an der HFU
Ich informiere gerne zur Forschung unseres Instituts
Institutsleitung
Publikationen
Institut für Mikrosystemtechnik
2024 | |||
Benjamin Sittkus, Julien Petit, Gerald Urban, Ulrich Mescheder | Crack preserving effect in ultrathin metal films on elastomer membranes induced by e-beam irradiation | FLEPS2024 : IEEE International Conference on Flexible and Printable Sensors and Systems, June 30 - July 3, 2024,Tampere, Finland ; Conference Proceedings, 2024 | BibTeX | RIS 979-8-3503-8326-3, DOI |
2023 | |||
Sonja Müller, Ulrich Mescheder | Energy requirement and energy management for an active implant | MikroSystemTechnik Kongress 2023, 23. - 25. Oktober 2023, Dresden, Germany, 2023 | BibTeX | RIS |
Alina Kohler, Felix Blendinger, Sonja Müller, Ulrich Mescheder, Volker Bucher | Feasibility of Parylene C for encapsulating piezoelectric actuators in active medical implants | Frontiers in Medical Technology, Vol.5.2023, 2023 | BibTeX | RIS DOIURN |
Hakan Alaboz, Benjamin Sittkus, Divya D. Muley, Ulrich Mescheder | Finger position sensing on curved surfaces in braille displays | MikroSystemTechnik Kongress 2023, 23. - 25. Oktober 2023, Dresden, Germany, 2023 | BibTeX | RIS |
Ashish Bhave, Benjamin Sittkus, Gerald Urban, Ulrich Mescheder, Knut Möller | Finite element analysis of the interaction between high-compliant balloon catheters and non-cylindrical vessel structures: towards tactile sensing balloon catheters | Biomechanics and Modeling in Mechanobiology, 22.2023(6), pp. 2033-2061, 2023 | BibTeX | RIS DOIURN |
Ulrike Passlack, Nicolai Simon, Volker Bucher, Christine Harendt, Thomas Stieglitz, Joachim N. Burghartz | Flexible Ultrathin Chip-Film Patch for Electronic Component Integration and Encapsulation using Atomic Layer-Deposited Al2O3–TiO2 Nanolaminates | ACS Applied Materials & Interfaces, 15.2023(12), pp. 16221-16231, 2023 | BibTeX | RIS DOI |
Isman M. Khazi, Jürgen Wilde, Gregor Neusser, Christine Kranz, Ulrich Mescheder | In situ analysis of electrochemical deposition kinetics for nanocrystalline nickel-cobalt alloys with varying bath hydrodynamics | Surface and Coatings Technology, 464.2023(July), 2023 | BibTeX | RIS DOI |
Benjamin Sittkus, Ulrich Mescheder | In-situ SEM analysis tool for stretchable metal-elastomer-laminate-membranes for flexible sensors | MikroSystemTechnik Kongress 2023, 23. - 25. Oktober 2023, Dresden, Germany, 2023 | BibTeX | RIS |
Almothana Albukhari, Ulrich Mescheder | Inchworm Motors and Beyond: A Review on Cooperative Electrostatic Actuator Systems | Actuators, 12.2023(4), p. 38, 2023 | BibTeX | RIS DOIURN |
Przemyslaw Lopato, Michal Herbko, Ulrich Mescheder, Andras Kovacs | Influence of a thin dielectric layer on resonance frequencies of square SRR metasurface operating in THz band | Open Engineering, 13.2023(1), 2023 | BibTeX | RIS DOIURN |
Wolfram Kintzel, Marvin Schmid, Achim Rentschler, Jörg Eisenlohr, Volker Bucher | Novel method for plasma etching of printed circuit boards as alternative for fluorocarbon gases | International Journal of Plasma Environmental Science and Technology : ISNTPT, 17.2023(2), 2023 | BibTeX | RIS DOI |
Przemyslaw Lopato, Michal Herbko, Paulina Gora, Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Alexander Filbert | Numerical Analysis of the Influence of Fabrication Process Uncertainty on Terahertz Metasurface Quality | Electronics, 12.2023(10), 2023 | BibTeX | RIS DOIURN |
Mathias Schulz, Stefan Keil, Simon Löhlein, Sourish Banerjee, Nicolai Simon, Catherine Dubourdieu, Volker Bucher, Roland Thewes | On the Noise Contribution of Dielectric Interfaces in Biochemical CMOS Sensor Chips | IEEE 49th European Solid State Circuits Conference (ESSCIRC), 11-14 September 2023, Lisbon, Portugal, 2023 | BibTeX | RIS 979-8-3503-0419-0, DOI |
Sonja Müller, Stefan J. Rupitsch, Ulrich Mescheder | Study on Sensitivity and Accuracy of Piezoelectric Stack Actuators for Charge Self-Sensing | SMSI 2023 : Sensor and Measurement Science International, 8-11 May 2023, Nürnberg, Germany : Proceedings, pp. 372-373, 2023 | BibTeX | RIS 978-3-9819376-8-8, DOI |
Shervin Keshavarzi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder | Surface Passivated Porous Silicon-Based Antireflective Coating | MikroSystemTechnik Kongress 2023, 23. - 25. Oktober 2023, Dresden, Germany, 2023 | BibTeX | RIS |
2022 | |||
Christian Krause, Simone Schrempp, Hans-Georg Enkler, Martin Untenberger, Volker Bucher, Nicolai Simon, Maximilian Schaudig, Malvine N. Strakova, Mihails Scepanskis | An approach to improve the efficiency of flux concentrator materials, pt. 2 | heat processing, 20.2022(3), pp. 41-46, 2022 | BibTeX | RIS |
Nicolai Simon, Aaron Urschel, Thomas Stieglitz, Volker Bucher | Area Selectiv Atomic Layer Deposition on Noble Metals | BMT 2022, Abstracts of the 2022 Joint Annual Conference of the Austrian (ÖGBMT), German (VDE DGBMT) and Swiss (SSBE) Societies for Biomedical Engineering, 28.-30.09.2022, Innsbruck, Österreich, p. 471, 2022 | BibTeX | RIS DOI |
Elisa-Marie Lux, Dirk Herrmann, Thomas Gratzl, Volker Bucher | Comparability of the cooling effect of Peltier thermoelectric elements in a chemiluminescence analyzer under extreme climatic conditions | HFU Master research projects, 2.2022(1/2), p. 4, 2022 | BibTeX | RIS URN |
Christoph Reiser, Nicolai Simon, Volker Bucher | Determination of the Water Vapour Transmission Rate of Polymer-Metal Oxide Layer Composites | HFU Master research projects, 2.2022(1/2), 2022 | BibTeX | RIS URN |
Sonja Müller, Stefan J. Rupitsch, Ulrich Mescheder | Experimental characterisation of a piezoelectrically actuated force amplifier using optical and self-sensing methods | ACTUATOR 2022; International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications, June 29-30, 2022, Mannheim, Germany, pp. 274-277, 2022 | BibTeX | RIS 978-3-8007-5894-4, |
Nicolai Simon, Marvin Schmid, Felix Blendinger, Volker Bucher | Long Term Evaluation of the Barrier Properties of Polymer/Metal Oxide Hybrid Layers for Use in Medical Implants | Current Directions in Biomedical Engineering, 8.2022(2), pp. 435-438, 2022 | BibTeX | RIS DOIURN |
Nicolai Simon, Marvin Schmid, Felix Blendinger, Volker Bucher | Long Term Evaluation of the Barrier Properties of Polymer/Metal Oxide Hybrid Layers for Use in Medical Implants | BMT 2022, Abstracts of the 2022 Joint Annual Conference of the Austrian (ÖGBMT), German (VDE DGBMT) and Swiss (SSBE) Societies for Biomedical Engineering, 28.-30.09.2022, Innsbruck, Österreich, p. 426, 2022 | BibTeX | RIS DOI |
Sven Schumayer, Nicolai Simon, Benjamin Sittkus, Sandra Wagner, Volker Bucher, Torsten Strasser | Novel Three-Dimensional and Biocompatible Lift-Off Method for Selective Metallization of a Scleral Contact Lens Electrode for Biopotential Detection | Frontiers in Medical Technology, 4.2022(June), 2022 | BibTeX | RIS DOIURN |
Shervin Keshavarzi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder | Porous Silicon Based Ultra-Band infrared Antireflective and Light absorbing Coating | Porous Semiconductors - Science and Technology 2022, PSST2022, March 27th - April 1st, 2022, Lido di Camaire (Lucca), Italy, 2022 | BibTeX | RIS DOI |
Max Borgolte, Oliver Riester, Isabel Quint, Felix Blendinger, Volker Bucher, Stefan Laufer, Rene Csuk, Luca Scotti, Hans-Peter Deigner | Synthesis of a biocompatible benzophenone-substituted chitosan hydrogel as novel coating for PEEK with extraordinary strong antibacterial and anti-biofilm properties | MaterialsToday Chemistry, Vol.26.2022, 2022 | BibTeX | RIS DOIURN |
The Upper-Rhine Artificial Intelligence Symposium UR-AI 2022 : AI Applications in Medicine and Manufacturing, 19 October 2022, Villingen-Schwenningen, Germany | Christoph Reich, Ulrich Mescheder (Eds.)2022 | BibTeX | RIS 978-3-00-073638-4, URN | |
2021 | |||
Felix Blendinger, Daniel Seitz, Andreas Ottenschläger, Monika Fleischer, Volker Bucher | Atomic Layer Deposition of Bioactive TiO2 Thin Films on Polyetheretherketone for Orthopedic Implants | ACS Applied Materials & Interfaces, 13.2021(3), pp. 3536-3546, 2021 | BibTeX | RIS DOI |
Benjamin Gohminger, Falk Stukowski, Volker Bucher | Bestimmung der Oxidschichtdicke am Stent-Werkstoff L605 | WOMag, 10.2021(9), pp. 16-18, 2021 | BibTeX | RIS |
Ulrich Kallmann, Michael Lootze, Ulrich Mescheder | Charakterisierung und erste Anwendung eines MEMS-basierten adaptiven Zylinderspiegels | DGaO-Proceedings 2021 : 122. Jahrestagung der DGaO, 21. - 23. September 2021, Bremen, Germany, 2021 | BibTeX | RIS |
Hakan Alaboz, Andras Kovacs, Yasser Safa, Ulrich Mescheder | Development of Cost-Effective Automated Test System for Determining Lifetime of Gold Contacts Under Mechanical Load | MikroSystemTechnik Kongress 2021, 08. - 10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg, Germany, pp. 738-741, 2021 | BibTeX | RIS 978-3-8007-5656-8, |
Ulrich Mescheder, Michael Lootze, Khaled Aljasem | Evaluation and Optimization of a MOEMS Active Focusing Device | Micromachines, 12.2021(2), 2021 | BibTeX | RIS DOI |
Ulrike Passlack, Nicolai Simon, Volker Bucher, Christine Harendt, Joachim N. Burghartz | Flexible Ultra-Thin Chip-Film Patch for Integration of Electronic Components for Biomedical Applications | MikroSystemTechnik Kongress 2021, 08. - 10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg, Germany, pp. 602-605, 2021 | BibTeX | RIS 978-3-8007-5656-8, |
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, Ali Zahedi, Bahman Azarhoushang | Fusion of Optical and Microfabricated Eddy-Current Sensors for the Non-Destructive Detection of Grinding Burn | Advances in Science, Technology and Engineering Systems Journal, 6.2021(1), pp. 1414-1421, 2021 | BibTeX | RIS DOIURN |
Isman M. Khazi, Ulrich Mescheder, Jürgen Wilde | In situ Electroanalytical Modelling of the Influence of Bath Hydrodynamics on Nucleation Kinetics for Electrodeposition of Nickel-Cobalt Alloy System | SICT 2021, 7 - 9 April, 2021, Paris, France, Virtual Joint Conference, 2021 | BibTeX | RIS DOI |
Rui Zhu, Ulrike Wallrabe, Peter Woias, Matthias C. Wapler, Ulrich Mescheder | Influence of electrode design on actuation characteristics of cooperative DEAP actuators | ACTUATOR 21 : International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications, 17-19 February 2021, Online Conference, Germany, pp. 357-360, 2021 | BibTeX | RIS 978-3-8007-5454-0, |
Almothana Albukhari, Ulrich Mescheder | Investigation of the Dynamics of a 2-DoF Actuation Unit Cell for a Cooperative Electrostatic Actuation System | Actuators, 10.2021(10), 2021 | BibTeX | RIS DOIURN |
Nicolai Simon, Maria Asplund, Thomas Stieglitz, Volker Bucher | Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Iridium Oxide for Application in Miniaturized Neural Implants | Current Directions in Biomedical Engineering, 7.2021(2), pp. 539-542, 2021 | BibTeX | RIS DOIURN |
Benjamin Sittkus, Ulrich Mescheder, Gerald Urban | Processing method of thin metal-polymer laminate membranes and transfer to cylindrically shaped substrates for flexible sensors | MikroSystemTechnik Kongress 2021, 08. - 10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg, Germany, pp. 430-433, 2021 | BibTeX | RIS 978-3-8007-5656-8, |
Nicolai Simon, Ulrike Passlack, Thomas Stieglitz, Felix Blendinger, Volker Bucher | Qualification of the Barrier Properties of ALD-coated Polymer Films with Humidity Sensors | MikroSystemTechnik Kongress 2021, 08. - 10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg, Germany, pp. 380-383, 2021 | BibTeX | RIS 978-3-8007-5656-8, |
Ulrich Kallmann, Michael Lootze, Ulrich Mescheder | Simulative and Experimental Characterization of an Adaptive Astigmatic Membrane Mirror | Micromachines, 12.2021(2), 2021 | BibTeX | RIS DOIURN |
2020 | |||
Florian Sicklinger, Yunhang Zhang, Kory Lavine, Nicolai Simon, Volker Bucher, Manfred Jugold, Lorenz Lehmann, Mathias H. Konstandin, Hugo A. Katus, Florian Leuschner | A Minimal-Invasive Approach for Standardized Induction of Myocardial Infarction in Mice | Circulation Research, 127.2020(9), pp. 1214-1216, 2020 | BibTeX | RIS DOI |
Aakash Shah, Florian Höschen, Volker Bucher | Biocompatible Polymer Encapsulation for Active Bone Distractors | WOMag, 9.2020(7-8), 2020 | BibTeX | RIS |
Andras Kovacs, Isman M. Khazi, Ali Zahedi, Ulrich Mescheder, Bahman Azarhoushang | Development of an Optical Sensor for the Non-Destructive Testing of Grinding Burn | IEEE Sensors 2020, October 25-28, 2020, Rotterdam, Netherlands, 2020 | BibTeX | RIS |
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Ali Zahedi, Christian Reser, Ulrich Mescheder, Bahman Azarhoushang, Christoph Reich | In situ Qualitätsbeurteilung von Schleifprozessen mittels Mikrosystemtechnik basierter Sensorfusion | ZfP heute : Wissenschaftliche Beiträge zur zerstörungsfreien Prüfung heute; Sonderband 2020, pp. 99-101, 2020 | BibTeX | RIS 978-3-947971-10-7, |
Ulrike Passlack, Nicolai Simon, Volker Bucher, Christine Harendt, Thomas Stieglitz, Joachim N. Burghartz | Investigation of Long-Term Stability of Hybrid Systems-in-Foil (HySiF) for Biomedical Applications | 2020 IEEE 8th Electronics System-Integration Technology Conference (ESTC), 15-18 September 2020, Tonsberg, Vestfold Norway, 2020 | BibTeX | RIS 978-1-7281-6293-5, DOI |
Michele Dollt, Miriam Reh, Michael Metzger, Gerhard Heusel, Martin Kriebel, Volker Bucher, Günther Zeck | Low-temperature atomic-layer deposited oxide on titanium nitride electrodes enables culture and physiological recording of electrogenic cells | Frontiers in Neuroscience, 14.2020(September Artikel 552876), 2020 | BibTeX | RIS DOIURN |
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Ali Zahedi, Ulrich Mescheder, Bahman Azarhoushang | Microfabricated Eddy-Current Sensors for Non-Destructive Testing of the Micro Grinding Burn | IEEE Sensors 2020, October 25-28, 2020, Rotterdam, Netherlands, 2020 | BibTeX | RIS |
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder | Microfabrication of 3D Free-Forms with Textured Surface Morphology in Monocrystalline Silicon using Grayscale Technology | Journal of Applied Material Science & Engineering Research, 4.2020(4), pp. 150-154, 2020 | BibTeX | RIS DOI |
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Rui Zhu, Ulrich Mescheder | Optimization of Microfabricated 2D Planar Spiral Microcoils for the Micro NDT of Grinding Burn | Comsol Conference 2020 Europe, October 14–15, 2020 | BibTeX | RIS |
Markus Westerhausen, Tanja Martin, Michael Metzger, Felix Blendinger, Monika Fleischer, Boris Hofmann, Volker Bucher | Passivated electrode side walls by atomic layer deposition on flexible polyimide based samples | Microelectronic Engineering, 227.2020(April Artikel 111315), 2020 | BibTeX | RIS DOI |
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Ali Zahedi, Christian Reser, Ulrich Mescheder, Bahman Azarhoushang, Christoph Reich | Real time In-Situ Quality Monitoring of Grinding Process using Microtechnology based Sensor Fusion | 2020 IEEE International Conference on Semiconductor Electronics (ICSE), Kuala Lumpur, Malaysia, 2020, pp. 180-184, 2020 | BibTeX | RIS DOI 978-1-7281-5968-3, |
Andras Kovacs, Dagmar Martin, Alexander Filbert, Volker Bucher, Ulrich Mescheder | Single and Multilayer Atomic Layer Deposition on and into Mesoporous Silicon Layers | ECS Transactions, 98.2020(2), pp. 121-130, 2020 | BibTeX | RIS DOI |
2019 | |||
Almothana Albukhari, Frederico Lima, Ulrich Mescheder | Bed-Embedded Heart and Respiration Rates Detection by Longitudinal Ballistocardiography and Pattern Recognition | Sensors, 19.2019(6), 2019 | BibTeX | RIS DOIURN |
Markus Westerhausen, Michael Metzger, Felix Blendinger, Anja Levermann, Monika Fleischer, Boris Hofmann, Volker Bucher | Characterization of Biostable Atomic Layer Deposited (ALD) Multilayer Passivation Coatings for Active Implants | EMBC 19 : 41st Annual International Conference of the IEEE Engineering in Medicine & Biology Society (EMBC), July 23-27, 2019, Berlin, Germany, pp. 3927-3930, 2019 | BibTeX | RIS 978-1-5386-1311-5, |
Rui Zhu, Ulrich Mescheder | Deap Based Actuator for Tactile and Microfluidics Applications | 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 23-27 June 2019, Berlin, Germany, pp. 2432-2435, 2019 | BibTeX | RIS 978-1-5386-8104-6, DOI |
Alexander Bejan, Frederico Lima, Ulrike Lindwedel, Almothana Albukhari, Rui Zhu, Maab Inayah, Christophe Kunze, Ulrich Mescheder | Design und Evaluation eines low-cost Ambient-Assisted-Living-Sensorsystems zur ballistokardiografischen Messung der Vitalfunktionen und Aktivitäten älterer Bewohner | 6. Ambient Medicine® Forum „Assistive Technik für selbstbestimmtes Wohnen", 19.-20. Februar 2019, pp. 15-22, 2019 | BibTeX | RIS 978-3-7369-9961-9, |
Rui Zhu, Lennart Rubbert, Pierre Renaud, Ulrich Mescheder | Determination of a tactile feedback strategy for use in robotized percutaneous procedures | 41st Annual International Conference of the IEEE Engineering in Medicine and Biology Society (EMBC), July 23 - 27, 2019, Berlin, Germany, pp. 5846-5850, 2019 | BibTeX | RIS 978-1-5386-1311-5, DOI |
Frederico Lima, Isman M. Khazi, Ulrich Mescheder, Alok C. Tungal, Uma Muthiah | Fabrication of 3D microstructures using grayscale lithography | Advanced Optical Technologies, 8.2019(3-4), pp. 181-193, 2019 | BibTeX | RIS DOI |
Benjamin Sittkus, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder | Fabrication of a microfluidic system with columnar structures using DRIE for blood brain barrier applications | MikroSystemTechnik Kongress 2019 : Mikroelektronik | MEMS-MOEMS | Systemintegration – Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz 28. – 30. Oktober 2019 in Berlin, pp. 750-753, 2019 | BibTeX | RIS 978-3-8007-5090-0, |
Benjamin Sittkus, Rui Zhu, Ulrich Mescheder | Flexible piezoresistive PDMS metal-thin-film sensor-concept for stiffness evaluation of soft tissues | IEEE International Conference on Flexible and Printable Sensors and Systems : FLEPS 2019, July 7 - 10, 2019, Glasgow, United Kindom, 2019 | BibTeX | RIS 978-1-5386-9304-9, DOI |
Frederico Lima, Ulrich Mescheder, Harald Leiste, Müller Claas | Influence of current density on the adhesion of seedless electrodeposited copper layers on silicon | Surface and Coatings Technology, 375.2019(October), pp. 554-564, 2019 | BibTeX | RIS DOI |
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Shervin Keshavarzi, Andras Kovacs, Mohammad Abdo, Vlad Badilita, Rui Zhu, Jan G. Korvink, Ulrich Mescheder | Porous Silicon Based Rugate Filter Wheel for Multispectral Imaging Applications | ECS Journal of Solid State Science and Technology, 8.2019(3), pp. Q43-Q49, 2019 | BibTeX | RIS DOIURN |
Shervin Keshavarzi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder | Porous silicon based antireflection coating for the MWIR range | MikroSystemTechnik Kongress 2019 : Mikroelektronik | MEMS-MOEMS | Systemintegration – Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz 28. – 30. Oktober 2019 in Berlin, pp. 487-490, 2019 | BibTeX | RIS 978-3-8007-5090-0, |
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Annabelle Schofer, Markus Niemann, Volker Bucher | Reibung von Führungsdrähten und Kathederschläuchen - Recherche zur Technologie - Teil 2 | WOMag, 7.2018(5), 2018 | BibTeX | RIS |
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Annabelle Schofer, Markus Niemann, Volker Bucher | Reibung von Führungsdrähten und Kathederschläuchen - Recherche zur Technologie - Teil 4 | WOMag, 7.2018(7-8), 2018 | BibTeX | RIS |
Annabelle Schofer, Markus Niemann, Volker Bucher | Reibung von Führungsdrähten und Kathederschläuchen - Teil 1 | WOMag, 7.2018(4), 2018 | BibTeX | RIS |
Shervin Keshavarzi, Frederico Lima, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder | Sequential Nano-Explosion Using Patterned Porous Silicon | Journal of Microelectromechanical Systems, 27.2018(2), pp. 250-258, 2018 | BibTeX | RIS DOI |
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Andras Kovacs, Shervin Keshavarzi, A. O. Perez, Stefan Palzer, Ulrich Mescheder | Tunable Light Source for Photoacoustic Sensing Applications | IEEE Sensors 2018, October 28 - 31, 2018, New Dehli, India, Conference Proceedings, 2018 | BibTeX | RIS 978-1-5386-4707-3, DOI |
Michael Engel, Denis Horn, Felix Blendinger, Michael Metzger, Markus Westerhausen, Volker Bucher | Wirtschaftliches Testverfahren zur Bestimmung der Wasserdampf-Durchlässigkeit von Kunststoff-Folien | Industrielle Automation, pp. 40-41, 2018 | BibTeX | RIS |
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Uma Muthiah, Isman M. Khazi, Ulrich Mescheder | 3D Strukturierung von Silizium mittels Grauwert-Technologie | MikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme, 23. – 25. Oktober 2017 in München, pp. 692-695, 2017 | BibTeX | RIS 978-3-8007-4491-6, |
Shervin Keshavarzi, Wolfgang Kronast, Frederico Lima, Ulrich Mescheder | Controlled energy release based on explosive porous silicon | MEMS 2017: The 30th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, January 22 - 26, 2017, Las Vegas, USA, pp. 712-715, 2017 | BibTeX | RIS 978-1-5090-5079-6, DOI |
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke | Effect of Capillary Forces in Room Temperature Si-Si Direct Bonding Technique Using Velcrolike Surfaces | Journal of Microelectromechanical Systems, 26.2017(2), pp. 385-395, 2017 | BibTeX | RIS DOI |
Frederico Lima, Alok Tungal, Isman M. Khazi, Ulrich Mescheder | Galvanisch aus 3D-Fotolack-Strukturen abgeformte metallische 3D-Freiformen | MikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme, 23. – 25. Oktober 2017 in München, pp. 375-378, 2017 | BibTeX | RIS 978-3-8007-4491-6, |
Dirk Benyoucef, Vera Kallfaß, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, Stefan Palzer | Mikrosystemtechnische Geruchssensorik und ihre Anwendungen in AAL | Assistive Systeme und Technologien zur Förderung der Teilhabe für Menschen mit Hilfebedarf : Ergebnisse aus dem Projektverbund ZAFH-AAL, Pabst Science Publisher: Lengerich, pp. 51-66, 2017 | BibTeX | RIS 978-3-95853-362-2, |
Andreas Heid, Lukas Scheuble, Rene von Metzen, Volker Bucher | Prozess zum Transfer und zur Einbettung von kleinen Dies in ein flexibles Foliensystem bei niedrigen Temperaturen | MikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme; 23. – 25. Oktober 2017 in München, pp. 628-631, 2017 | BibTeX | RIS 978-3-8007-4491-6, |
Andras Kovacs, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder | Schmalbandige photonische Kristalle für Multispektral-Analyse | MikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme, 23. – 25. Oktober 2017 in München, pp. 836-839, 2017 | BibTeX | RIS 978-3-8007-4491-6, |
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Andreas Heid, Marcio C. de Andrade, Rene P. von Metzen, Volker Bucher, Jürgen Giehl | A New Active Flexible High Resolution Micro Electrode Array | MEA Meeting 2016 | 10th International Meeting on Substrate-Integrated Electrode Arrays, Reutlingen, Germany, 28 Jun - 1 Jul, 2016, 2016 | BibTeX | RIS DOIURN |
Alexey Ivanov, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder | Application of local backside contacts for structuring Of silicon with anodization: simulation and experiments | Procedia Engineering, Vol.168.2016, pp. 1180-1183, 2016 | BibTeX | RIS DOI |
Rui Zhu, Ulrike Wallrabe, Matthias C. Wapler, Peter Woias, Ulrich Mescheder | Dielectric electroactive polymer membrane actuator with ring-type electrode as driving component of a tactile actuator | Procedia Engineering, pp. 1537-1540, 2016 | BibTeX | RIS DOI |
Ulrich Mescheder, Alok Tungal, Frederico Lima | Electroplated 3D metal free forms casted from 3D photoresist molds | 42nd International Conference on Micro and Nano Engineering, September 19-23, 2016, Vienna, Austria, 2016 | BibTeX | RIS DOI |
Andreas Heid, Rene P. von Metzen, Alfred Stett, Volker Bucher | Examination of dielectric strength of thin Parylene C films under various conditions | Current Directions in Biomedical Engineering, 2.2016(1), pp. 39-41, 2016 | BibTeX | RIS DOIURN |
Michael Banghard, Romy Hartmann, Kamel Silmy, Wilfried Nisch, Rene P. von Metzen, Alfred Stett, Volker Bucher | High voltage insulation properties of DLC-Parylene multilayer films for microsurgery instruments | Microelectronic Engineering, Vol.153.2016, pp. 126-131, 2016 | BibTeX | RIS DOI |
Victor V. Lyubimov, Vladimir M. Volgin, Ulrich Mescheder, Inna V. Gnidina, Alexey Ivanov | Investigation of plastic electrode tools for electrochemical machining of silicon | Precision Engineering, Vol.47.2016, pp. 546-556, 2016 | BibTeX | RIS DOI |
Michael Metzger, Vanessa Schenk, Alexander Konrad, Jan Brunner, Victoria Radun, Sabrina Hajek, Alfred J. Meixner, Andreas Modler, Dieter Stoll, Volker Bucher, Marc Brecht | Kompakter optischer Hybridsensor für Brechungsindexmessungen | WOMag, 5.2016(4), 2016 | BibTeX | RIS |
Vera Rech, Ramona Draxler, Volker Bucher, Boris Hofmann | Neurotransmitterdetektion in vivo – Anwendung elektrochemischer Messverfahren | WOMag, 5.2016(1-2), p. 19, 2016 | BibTeX | RIS |
Vera Rech, Ramona Draxler, Volker Bucher, Boris Hofmann | Neurotransmitterdetektion in vivo – Anwendung elektrochemischer Messverfahren: Teil 2 | WOMag, 5.2016(3), p. 11, 2016 | BibTeX | RIS |
Vera Rech, Ramona Draxler, Volker Bucher, Boris Hofmann | Neurotransmitterdetektion in vivo – Anwendung elektrochemischer Messverfahren: Teil 3 | WOMag, 5.2016(4), p. 15, 2016 | BibTeX | RIS |
Vera Rech, Ramona Draxler, Volker Bucher, Boris Hofmann | Neurotransmitterdetektion in vivo – Anwendung elektrochemischer Messverfahren: Teil 4 | WOMag, 5.2016(6), p. 13, 2016 | BibTeX | RIS |
Alvaro O. Pérez, Vera Kallfaß-de Frenes, Alexander Filbert, Janosch Kneer, Benedikt Bierer, Pirmin Held, Philipp Klein, Jürgen Wöllenstein, Dirk Benyoucef, Sigrid Kallfaß, Ulrich Mescheder, Stefan Palzer | Odor-Sensing System to Support Social Participation of People Suffering from Incontinence | Sensors, 17.2017(1), 2016 | BibTeX | RIS DOIURN |
Johannes Maisch, Farhad Jafarli, Thomas Chassé, Felix Blendinger, Alexander Konrad, Michael Metzger, Alfred J. Meixner, Marc Brecht, L. Dähne, Hermann A. Mayer | One-pot synthesis of micron partly hollow anisotropic dumbbell shaped silica core–shell particles | Chemical Communications: ChemComm, 52.2016(100), pp. 14392-14395, 2016 | BibTeX | RIS |
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder | PSi-based Diffusion Membranes | Porous Silicon: Biomedical and Sensor Applications, Volume Two, Ghenadii Korotcenkov (Ed.)CRC Press: Boca Raton, pp. 279-298, 2016 | BibTeX | RIS 978-1-4822-6456-2, |
Michael Banghard, Christian Freudigmann, Kamel Silmy, Alfred Stett, Volker Bucher | Plasma treatment on novel carbon fiber reinforced PEEK cages to enhance bioactivity | Current Directions in Biomedical Engineering, 2.2016(1), pp. 569-572, 2016 | BibTeX | RIS DOIURN |
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke | Room Temperature Si–Si Direct Bonding Technique Using Velcro-Like Surfaces | Journal of Microelectromechanical Systems, 25.2016(2), pp. 371-379, 2016 | BibTeX | RIS DOI |
Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder | Surface Micromachining (Sacrificial Layer) and Its Applications in Electronic Devices | Porous Silicon: Optoelectronics, Microelectronics, and Energy Technology Applications, Volume Three, Ghenadii Korotcenkov (Ed.)CRC Press: Boca Raton, pp. 129-141, 2016 | BibTeX | RIS 978-1-4822-6458-6, |
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Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Wolfgang Kronast, Bernhard Müller, Alexey Ivanov | Adaptiver optischer Filter bzw. spektral einstellbare Lichtquelle | 2015 | BibTeX | RIS |
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Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher | Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik Teil 2 | WOMag, 4.2015(1-2), p. 26, 2015 | BibTeX | RIS |
Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher | Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik Teil 3 | WOMag, 4.2015(3), p. 18, 2015 | BibTeX | RIS |
Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher | Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik Teil 4 | WOMag, 4.2015(4), p. 21, 2015 | BibTeX | RIS |
Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher | Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik Teil 5 | WOMag, 4.2015(5), p. 18, 2015 | BibTeX | RIS |
Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher | Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik Teil 6 | WOMag, 4.2015(6), p. 12, 2015 | BibTeX | RIS |
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke | Bonding Mechanism in the Velcro Concept Si-Si Low Temperature Direct Bonding Technique | 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Estoril, 2015, pp. 413-416, 2015 | BibTeX | RIS DOI 978-1-4799-7955-4, |
Isman M. Khazi, Ulrich Mescheder, Zohaib Siddiqui | Characterization of the influence of Sodium-Lauryl-Sulfate on the surface quality of electrodeposited Nickel-Cobalt alloys | MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe, pp. 436-439, 2015 | BibTeX | RIS 978-3-8007-4100-7, |
Ulrich Mescheder, Isman M. Khazi | Corner rounding of sharp silicon punching tool edges by local oxidation of silicon | Microelectronic Engineering, 141.2015(2), pp. 178-183, 2015 | BibTeX | RIS DOI |
Victoria Radun, Rene P. von Metzen, T. Stieglitz, Volker Bucher, Alfred Stett | Evaluation of adhesion promoters for Parylene C on gold metallization | Current Directions in Biomedical Engineering, 01.2015(1), pp. 493-497, 2015 | BibTeX | RIS DOIURN |
Michael Banghard, Kamel Silmy, Rene P. von Metzen, Volker Bucher | Korrosionsschutz von Edelstahl mit neuartigem Schichtdesign | WOMag, 4.2015(12), pp. 19-19, 2015 | BibTeX | RIS |
Paul Walden, Janosch Kneer, Stefan Knobelspies, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Stefan Palzer | Micromachined Hotplate Platform for the Investigation of Ink-Jet Printed, Functionalized Metal Oxide Nanoparticles | Journal of Microelectromechanical Systems, 24.2015(5), pp. 1384-1390, 2015 | BibTeX | RIS DOI |
Wolfgang Kronast, Volker Lange, Rolf Huster, Ulrich Mescheder | Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur | MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe, pp. 523-526, 2015 | BibTeX | RIS 978-3-8007-4100-7, |
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Isman M. Khazi, Ulrich Mescheder | Self-aligning micro punch-die tool-system for high precision blanking of thin metal foils | MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe, pp. 429-432, 2015 | BibTeX | RIS 978-3-8007-4100-7, |
Surjitsinh Chauhan, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder | Simulation, Fabrication and Characterization of Robust Vibrational Energy Harvester | Procedia Engineering, pp. 349-354, 2015 | BibTeX | RIS DOI |
Isman M. Khazi, Ulrich Mescheder | Surface polishing of rough (110) silicon plane by HNA etching resulting from wet anisotropic KOH etching | MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe, pp. 417-420, 2015 | BibTeX | RIS 978-3-8007-4100-7, |
Andras Kovacs, Philipp Maurer, Ulrich Mescheder | Temperatureinfluss auf die Peakposition bei verschiedenen Umgebungsmedien in Porösen Silizium Multilayerschichten | MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe, pp. 547-550, 2015 | BibTeX | RIS 978-3-8007-4100-7, |
Andras Kovacs, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder | Tunable Narrow Band Porous Photonic Crystals for MOEMS Based Scanning Systems | Procedia Engineering, pp. 811-815, 2015 | BibTeX | RIS DOI |
Astrid Wagner, Dagmar Martin, Volker Bucher | Untersuchung des Einflusses der Reinigung und Oberflächenvorbehandlung von Edelstahloberflächen auf die Haftung von Silikonspritzgussmassen | WOMag, 4.2015(6), p. 16, 2015 | BibTeX | RIS |
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Rene P. von Metzen, Wilfried Nisch, Michael Weinmann, Volker Bucher, Alireza Gharabaghi, Saravanan Subramaniam, Thilo Krueger, Rainer Mohrlock, Karl-Heinz Boven, Alfred Stett | A Flexible, Wireless Intracranial ECoG Recording System - Incrimp | Biomedizinische Technik / Biomedical Engineering, 59.2014(S1 Track P), pp. 1057-1059, 2014 | BibTeX | RIS DOI |
Rui Zhu, Ulrich Mescheder, Frederico Lima | Actuation concept for miniaturized tactile systems | 1. Baden-Württemberg Center of Applied Research Symposium on Information and Communication Systems: SInCom 2014; 12. December 2014 in Furtwangen, pp. 44-49, 2014 | BibTeX | RIS 978-3-00-048182-6, |
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke | Characterisation and simulation of low temperature Si-Si direct bonding through velcro-like surfaces based on porous silicon | MEMS 2014: The 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, January 26-30, 2014, San Francisco, pp. 1119-1122, 2014 | BibTeX | RIS 978-1-4799-3509-3, DOI |
Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Rolf Huster | Development of a focusing micromirror device with an in-plane stress relief structure in silicon-on-insulator technology | Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 13.2014(1), 2014 | BibTeX | RIS DOI |
Frederico Lima, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke | Electrochemical Impedance Spectroscopy of n-Si(100) Pre-etched by KOH or BHF | 10th International Symposium on Electrochemical Impedance Analysis, June 1-5, 2014, Borovets, Bulgaria, 2014 | BibTeX | RIS |
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Ulrich Mescheder | Forschungsgebiet Mikrosystemtechnik im Forschungsschwerpunkt Smart Systems | Forschungsreport ... für die Elektrotechnik in Baden-Württemberg, pp. 48-51, 2014 | BibTeX | RIS |
Alfred Stett, Gordon Link, Rene P. von Metzen, Volker Bucher, Martin Stelzle, Andreas Pojtinger, Katharina Schneider, Dieter Mintenbeck, Daniel Rossbach, Harald Richter, Moustafa Nawito, Karl-Heinz Boven, Andreas Möller, Christoph Jeschke, Jens Pätzold, Thorsten Göttsche, Oliver Bludau, Nora Haas, Dana Tompkins, Timo Lebold, Martin Kokelmann | Implantable Electrochemical Biosensor Capsule | Biomedizinische Technik / Biomedical Engineering, 59.2014(S1 Track P), p. 1051, 2014 | BibTeX | RIS DOI |
Ulrich Mescheder, Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Alexey Ivanov | MOEMS based concept for miniaturized monochromators, spectrometers and tunable light sources | 1. Baden-Württemberg Center of Applied Research Symposium on Information and Communication Systems: SInCom 2014; 12. December 2014 in Furtwangen, pp. 38-43, 2014 | BibTeX | RIS 978-3-00-048182-6, |
Frederico Lima, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke | Maskless Selective Electrodeposition on Silicon | The 65th Annual Meeting of the International Society of Electrochemistry: Ubiquitous Electrochemistry; 31 August-5 September 2014, Lausanne, Switzerland, 2014 | BibTeX | RIS |
Laszlo Becsi, Thomas Bier, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Dirk Benyoucef | Miniaturisiertes Impulslärm-Dosimeter zur Untersuchung und Vermeidung von Gehörschädigungen bei Menschen | SENSOREN UND MESSSYSTEME: 17. ITG/GMA-Fachtagung, 3.-4. Juni 2014, Nürnberg, Convention Center, 2014 | BibTeX | RIS |
Nigol Kaste, Alexander Filbert, Ulrich Mescheder, Toomas Rang, Galina Rang | Process Development For 3D Laser Lithography | WIT Transactions on The Built Environment, Vol.137.2014, pp. 139-150, 2014 | BibTeX | RIS DOIURN |
Ulrich Mescheder, Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Alexey Ivanov | Tunable optical filters with wide wavelength range based on porous multilayers | Nanoscale Research Letters, p. 427, 2014 | BibTeX | RIS DOIURN |
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Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Rolf Huster | Development of a focusing micromirror device with an in-plane stress relief structure in SOI technology | Proceedings of SPIE: Volume 8616; MOEMS and Miniaturized Systems XII, 2-6 Februar 2013, San Francisco, California, United States, 2013 | BibTeX | RIS DOI |
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Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Rolf Huster | Entwicklung einer Stressausgleichsstruktur für spannungsarme aktive Membranspiegel in SOI Technologie | Von Bauelementen zu Systemen : proceedings / Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen, pp. 432-435, 2013 | BibTeX | RIS 978-3-8007-3555-6, |
Laszlo Becsi, Dirk Benyoucef, Thomas Bier, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder | Entwicklung eines Impulslärm-Dosimeters zur Untersuchung von Gehörschädigungen bei Menschen | Von Bauelementen zu Systemen : proceedings / Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen, pp. 578-581, 2013 | BibTeX | RIS 978-3-8007-3555-6, |
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke | Modeling the adhesion between nanoneedle surfaces bonded based on Velcro or Gecko principle | Von Bauelementen zu Systemen : proceedings / Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen, pp. 864-867, 2013 | BibTeX | RIS 978-3-8007-3555-6, |
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Ulrich Mescheder, Qingyun Gu, Bernhard Müller | Preiswerter und robuster Harvester für Vibrationsenergie | Von Bauelementen zu Systemen : proceedings / Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen, pp. 107-110, 2013 | BibTeX | RIS 978-3-8007-3555-6, |
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Michael Weinmann, Wilfried Nisch, Alfred Stett, Volker Bucher | Langzeitstabile Verkapselungsschichten mit integriertem Feuchtesensor für aktive Mikroimplantate | WOMag, 1.2012(12), pp. 22-23, 2012 | BibTeX | RIS |
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Ting Yuan, Ulrich Mescheder, Wolfgang Kronast, Changlong Wang | Optimization of Deformation Shape of an Active Electro-Optical Focusing Device | Advanced Materials Research, pp. 3116-3120, 2011 | BibTeX | RIS DOI |
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Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Antwi Nimo, Claus Braxmaier, Thilo Schuldt | Development of a tilt actuated micromirror for applications in laser interferometry | Proceedings of SPIE: Volume 7594; SPIE MOEMS-MEMS, 2010, San Francisco, California, United States, 2010 | BibTeX | RIS 978-0-8194-7990-7, DOI |
Awad Saad, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Antwi Nimo | High eficient, low cost electret charging set-up for mems based energy harvesting systems | Proceedings of PowerMEMS 2010, Nov 30-Dec 3, Leuven, Belgium, pp. 61-64, 2010 | BibTeX | RIS |
Thomas Bruns, Laszlo Becsi, Marc Talkenberg, Michael Wagner, Petra Weber, Ulrich Mescheder, Herbert Schneckenburger | Microfluidic system for single cell sorting with optical tweezers | Proceedings of SPIE: Volume 7376; Laser Applications in Life Sciences 2010, Oulu, Finland, 2010 | BibTeX | RIS DOI 9780819476524, |
Frederico Lima, Volker Lange, Sergey Borisov, Dietrich Kühlke | Multicolor LED-based temperature and O2-pressure sensor | Proceedings of SPIE: Volume 7726; Optical Sensing and Detection, 12–15 April 2010, Brussels, Belgium, 2010 | BibTeX | RIS DOI 978-0-819-48199-3, |
Alexey Ivanov, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder | Nasschemisches Ätzen von nahezu beliebigen 3D-Strukturen in Silizium | 63. Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops 03.03.2010 - 04.03.2010 in Erfurt, Germany, 2010 | BibTeX | RIS 978-3-8007-3216-6, |
Ulrich Mescheder, Prasad Jonnalagadda, Andras Kovacs, X. Meng | Optischer Biosensor mittels selbstorganisierter nanostrukturierte Multilayerschichten | 63. Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops 03.03.2010 - 04.03.2010 in Erfurt, Germany, pp. 105-110, 2010 | BibTeX | RIS 978-3-8007-3216-6, |
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, Prasad Jonnalagadda, X. Meng | Optisches Messsystem für biosensorische Anwendungen | Sensoren und Messsysteme 2010 : Vorträge der 15. ITG-GMA-Fachtagung vom 18. bis 19. Mai 2010 in Nürnberg, 2010 | BibTeX | RIS 978-3-8007-3260-9, |
Volker Bucher | Plasmaunterstützte chemische Dampfphasenabscheidung | Vakuum, Plasma, Technologien Teil I, Gerhard Blasek, Günter Bräuer (Eds.)Leuze: Bad Saulgau, pp. 322-355, 2010 | BibTeX | RIS 978-3-87480-257-4, |
Volker Bucher | Substratwerkstoffe für die dekorative vakuumtechnische Beschichtung | Vakuum, Plasma, Technologien Teil II, Gerhard Blasek, Günter Bräuer (Eds.)Leuze: Bad Saulgau, pp. 1041-1043, 2010 | BibTeX | RIS 978-3-87480-257-4, |
Simon Ressel, Martin Gohlke, Dominik Rauen, Thilo Schuldt, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Ulrich Johann, Dennis Weise, Claus Braxmaier | Ultrastable assembly and integration technology for ground- and space-based optical systems | Applied Optics, 49.2010(22), pp. 4296-4303, 2010 | BibTeX | RIS |
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Volker Bucher, Diethard Kapp-Schwoerer | Plasmabeschichtung in der Mikrotechnik | Mikroproduktion, pp. 24-27, 2008 | BibTeX | RIS |
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Daniela Kögler, Rolf Huster, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder | Aufbau- und Verbindungstechnik für ein mikrooptisches System | Mikrosystemtechnik-Kongress 2007 : 15. - 17. Oktober 2007, Dresden, 2007 | BibTeX | RIS 978-3-8007-3061-2, |
Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Rolf Huster | Einfluss unterschiedlicher Passivierungsschichten auf die Bildungsrate von porösem Silizium an Strukturkanten bei der 3DFormherstellung | Mikrosystemtechnik-Kongress 2007 : 15. - 17. Oktober 2007, Dresden, 2007 | BibTeX | RIS 978-3-8007-3061-2, |
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Andras Kovacs, Adam Kovacs, M. Pogany, Ulrich Mescheder | Mechanical investigation of perforated and porous membranes for micro- and nanofilter applications | Sensors and Actuators B: Chemical, 127.2007(1), pp. 120-125, 2007 | BibTeX | RIS DOI |
Andreas Peter, Christoph Ament, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Andras Kovacs, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder | Modellbasierte Verfahren zur Bestimmung der Luftgüte | Mikrosystemtechnik-Kongress 2007 : 15. - 17. Oktober 2007, Dresden, 2007 | BibTeX | RIS 978-3-8007-3061-2, |
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Ulrich Mescheder, Rolf Huster, Wolfgang Kronast, Thomas Hellmuth, Konstantin Khrennikov | Optimierung und Charakterisierung eines Membranspiegels zur dynamischen Fokussierung | Mikrosystemtechnik-Kongress 2007 : 15. - 17. Oktober 2007, Dresden, 2007 | BibTeX | RIS 978-3-8007-3061-2, |
Jutaphorn Kritwattanakhorn, Marie-Luise Bauersfeld, Andras Kovacs, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein | Optimization of platinum adhesion in electrochemical etching process for multi-sensor systems | Sensors and Actuators B: Chemical, 127.2007(1), pp. 126-131, 2007 | BibTeX | RIS DOI |
Andras Kovacs, Bernhard Müller, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Ulrich Mescheder, Andreas Peter, Christoph Ament, Jürgen Wöllenstein, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher | Sensor system for air quality measurement | Smart system integration 2007 : Paris, France 27. - 28.03.2007, pp. 519-522, 2007 | BibTeX | RIS 978-3-8007-3009-4, |
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Rolf Huster, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder | 3-D Micro Free-Form Manufacturing in Silicon: Micro Free- Form Production for Plastics Moulding Technology | Galvanotechnik, 97.2006(2), pp. 442-447, 2006 | BibTeX | RIS |
Ulrich Mescheder, Zoltan Torok, Wolfgang Kronast | Active focusing device based on MOEMS technology | Proceedings of SPIE: Volume 8168; MEMS, MOEMS, and Micromachining II, 2006, Strasbourg, France, 2006 | BibTeX | RIS 978-0-8194-6242-8, |
Volker Bucher | DLC-Schichten als Ersatz für Chromschichten | Galvanotechnik, 97.2006(4), p. 814, 2006 | BibTeX | RIS |
Ulrich Mescheder, Carlos Estan, Gergoe Somogyi, Markus Freudenreich | Distortion optimized focusing mirror device with large aperture | Sensors and Actuators A: Physical, 130-131/2006(August), pp. 20-27, 2006 | BibTeX | RIS DOI |
Adam Kovacs, Zsolt Vizvary, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder | Large Defection Analysis of Perforated Silicon Nitride Membranes | 6th European Solid Mechanics Conference: ESMC 2006; 28 August – 1 September, 2006 Budapest, Hungary, 2006 | BibTeX | RIS |
Volker Bucher | Neuartige dekorative Farbschichten durch Plasma-Beschichtung | Vakuum in Forschung und Praxis, 18.2006(2), pp. 27-31, 2006 | BibTeX | RIS DOI |
Jutaphorn Kritwattanakhorn, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein | Optimization of platinum adhesion in electrochemical etching process for multi-sensor systems | XX Eurosensors: 20th Anniversary; Göteborg, Sweden, 17-20 September 2006, pp. 376-377, 2006 | BibTeX | RIS 978-91-631-9280-7, |
Andras Kovacs, M. Pogany, Ulrich Mescheder, Adam Kovacs | Realization and mechanical investigation of perforated and porous membranes for filter applications | XX Eurosensors: 20th Anniversary; Göteborg, Sweden, 17-20 September 2006, pp. 392-393, 2006 | BibTeX | RIS 978-91-631-9280-7, |
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Christoph Ament, Marie-Luise Bauersfeld, Andras Kovacs, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller | "Single chip"-Sensorarray zu Luftqualitätsmessung | Mikrosystemtechnik-Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg, 2005 | BibTeX | RIS 978-3-8007-2926-5, |
Rolf Huster, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder | 3-D Micro Free-Form Manufacturing in Silicon Micro-Free- Form Production for Plastics Moulding Technology | Micro system technologies 2005 : International Conference & Exhibition on Micro-, Electro-Mechanical, Opto & Nano Systems, München, October 5 - 6, 2005, 2005 | BibTeX | RIS 3-7723-7040-3, |
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs | 3D-Mikrostrukturierungsverfahren: von kristallinem Silizium mit lokal einstellbarem Anisotropiefaktor | MikroSystemTechnik, pp. 7-9, 2005 | BibTeX | RIS |
Ulrich Mescheder, Markus Freudenreich | Charakterisierung eines bi-stabilen Schalters mit großem Schaltweg und einstellbaren Haltekräften | Mikrosystemtechnik-Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg, 2005 | BibTeX | RIS 978-3-8007-2926-5, |
Ulrich Mescheder, Carlos Estan, Gergoe Somogyi, Markus Freudenreich | MOEMS focusing device with ideal parabolic deflection shape | Transducers '05 : Seoul, Korea, The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems; Digest of Technical Papers, pp. 1000-1005, 2005 | BibTeX | RIS 0-7803-8994-8, DOI |
Ulrich Mescheder, Gergoe Somogyi, Markus Freudenreich, Carlos Estan | Mikrotechnisch hergestellter Membranspiegel für aktive Fokussierung | Horizonte, pp. 16-20, 2005 | BibTeX | RIS |
Andreas Peter, Christoph Ament, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein, Andras Kovacs, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder | Neuartiger Mikrosensor zur Luftgütemessung mit kombiniertem Feuchte- und Gassensor | 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Technische Universität Ilmenau, 19.-23. September 2005, pp. 273-274, 2005 | BibTeX | RIS 978-3-932633-98-0, |
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Roland Schneider | Optische Penmaus mit Bluetooth | Horizonte, pp. 8-11, 2005 | BibTeX | RIS |
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